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對出廠的每套產品編號檢驗,確保每套產品合格出廠。
制定嚴格的檢驗方法,以確保原材料的合格。
記錄生產過程中的每一個關鍵參數,確保生產工藝的穩定性。
嚴格的供應商評估篩選制度,選擇最優質的的供應商,確保穩定的原材料供應。
質量控制:
SiC單晶生產TaC涂層坩堝
TaC涂層托盤
TaC涂層噴管
TaC涂層隔熱屏
Solid SiC 盤、環
Solid SiC 載片器
4寸多片石墨盤(CVD SiC涂層)
6寸單片石墨盤(CVD SiC涂層)
PECVD舟架(CVD SiC涂層)
SiC芯片外延成套石墨零部件(CVD SiC涂層)CVD SiC涂層石墨發熱體
SiC陶瓷刻蝕盤(CVD SiC涂層)